Fotolitografia to proces wykorzystywany w mikrofabrykacji do przenoszenia wzorów geometrycznych na folię lub podłoże. Geometryczne kształty i wzory na półprzewodniku tworzą złożone struktury, które pozwalają domieszkom, właściwościom elektrycznym i przewodom wypełnić obwód i spełnić cel technologiczny.
Jak wygląda proces fotolitografii?
Fotolitografia, zwana również litografią optyczną lub litografią UV, jest procesem stosowanym w mikrowytwarzaniu do modelowania części na cienkiej warstwie lub masie podłoża (nazywanego również wafelkiem). … W złożonych układach scalonych płytka CMOS może przejść cykl fotolitografii nawet 50 razy.
Jak wygląda proces mikrowytwarzania?
Mikroprodukcja to proces wytwarzania miniaturowych struktur o skalach mikrometrowych i mniejszych. … Główne koncepcje i zasady mikrowytwarzania to mikrolitografia, domieszkowanie, cienkie warstwy, trawienie, spajanie i polerowanie.
Co to jest proces litografii w półprzewodnikach?
System litografii półprzewodnikowej wykonuje proces, w którym bardzo złożone wzory obwodów narysowane na fotomasce wykonanej z dużej szklanej płytki są redukowane przy użyciu ultrawydajnych soczewek i naświetlane na krzemowym podłożu znanym jakoopłatek. …
Czym jest litografia w procesie produkcji?
Litografia jestproces przenoszenia wzorów geometrycznych kształtów w masce na cienką warstwę materiału wrażliwego na promieniowanie (zwanego maską) pokrywającego powierzchnię płytki półprzewodnikowej. Rysunek 5.1 ilustruje schematycznie proces litograficzny stosowany w produkcji układów scalonych.
