W przypadku litografii półprzewodnikowej (zwanej również fotolitografią) nasze kamienie to krzem wafle, a nasze wzory są napisane światłoczułym polimerem zwanym fotomaską.
Co rozumiesz przez fotolitografię?
Fotolitografia, zwana także litografią optyczną lub litografią UV, jest procesem stosowanym w mikrofabrykacji do modelowania części na cienkiej warstwie lub masie podłoża (nazywanego również wafelkiem). … Ta metoda może tworzyć bardzo małe wzory, nawet o wielkości kilkudziesięciu nanometrów.
Dlaczego litografia jest używana w produkcji półprzewodników?
Fotolitografia to proces wykorzystywany w mikrowytwarzaniu do przenoszenia wzorów geometrycznych na folię lub podłoże. Geometryczne kształty i wzory na półprzewodniku tworzą złożone struktury, które pozwalają domieszkom, właściwościom elektrycznym i przewodom wypełnić obwód i spełnić cel technologiczny.
Jaki jest cel fotolitografii?
Fotolitografia jest jedną z najważniejszych i najłatwiejszych metod mikrowytwarzania i jest wykorzystywana do tworzenia szczegółowych wzorów w materiale. W tej metodzie kształt lub wzór można wytrawić poprzez selektywną ekspozycję światłoczułego polimeru na światło ultrafioletowe.
Co to jest półprzewodnikowy sprzęt do litografii?
Sprzęt do litografii półprzewodnikowej jest używany w fazie naświetlania układu półprzewodnikowegoproces produkcyjny. … Półprzewodnikowy sprzęt do litografii wykorzystuje soczewkę projekcyjną do redukcji wzoru obwodu, który jest zapisany na oryginalnej płytce zwanej siatką, i naświetla wzór na wafel.
