W niezrównoważonym rozpylaniu magnetronowym, plazma jest również wciągana do podłoża, a jony argonu również bombardują rosnącą cienką warstwę. … Obecność elektronów wokół podłoża prowadzi do jonizacji atomów gazu obojętnego i wnikania w ten obszar plazmy.
Dlaczego rozpylanie magnetronowe?
Napylanie magnetronowe wykorzystuje zamknięte pole magnetyczne do wychwytywania elektronów, zwiększając wydajność początkowego procesu jonizacji i wytwarzając plazmę przy niższym ciśnieniu, redukując inkorporację obu gazów w tle podczas wzrostu straty filmu i energii w napylonym atomie w wyniku zderzeń gazów.
Co można zastosować do rozpylania magnetronowego?
5 Osadzanie napylania magnetronowego. Napylanie magnetronowe to technika powlekania próżniowego o wysokiej szybkości, która umożliwia osadzanie wielu rodzajów materiałów, w tym metali i ceramiki, na tak wielu rodzajach materiałów podłoża za pomocą specjalnie uformowanego magnesu pole zastosowane do celu rozpylania diodowego.
Co to jest niezrównoważone rozpylanie magnetronowe w zamkniętym polu?
System powlekania jonowego magnetronowego z niezrównoważonym polem zamkniętym, opracowany przez Teer Coatings Ltd, zapewnia zoptymalizowane warunki osadzania, umożliwiające osadzanie gęstych, twardych powłok o doskonałej przyczepności. Umowa CFUBMSIP jest objęta patentami przyznanymi Teer Coatings Ltd.
Co to jest niezrównoważony magnetron?
Magnetrony są powszechnie klasyfikowane jako „zrównoważone” lub „niezrównoważone”. … Jeżeli punkt zerowy znajduje się blisko powierzchni docelowej, elektrony mogą łatwiej uciec i magnetron jest niezrównoważony. Niezrównoważone konstrukcje mogą powodować wysokie bombardowanie jonami cienkiej warstwy w tym samym czasie, co osadzanie.